Les particules supérieures à 100 µm ne pénètrent pas dans les voies respiratoires (particules non inhalables).
Les particules, de diamètre compris entre 10 et 100 nm, se déposent majoritairement dans les alvéoles pulmonaires dans une proportion bien supérieure aux particules de taille micrométrique. En dessous de 10 nm, le dépôt de particules s’effectue principalement dans les voies aériennes supérieures et dans une moindre mesure, dans la région trachéo-bronchique.