Spécifications d'un atelier croissance ?
Schéma fonctionnel d’un atelier Croissance.
Les équipements de croissance font pousser des quantités très faibles de nanomatériaux sur substrat : par exemple, de l'ordre de 0,01 mg/cm² de nanotubes de carbone sur un wafer de silicium. Les produits de départ peuvent être des films ou des agrégats fixés sur un substrat ou une solution dont une goutte est déposée sur un substrat.
Parmi les phases à surveiller, nous pouvons aussi signaler :
- l'ouverture du réacteur pour maintenance ouverte,
- le clivage des substrats en préparation,
- une mauvaise manipulation d'une pointe AFM lors de la caractérisation.
Il présente des niveaux de risques très inférieurs aux ateliers de production de poudres.