Les filtres Très Haute Efficacité (THE) purifient les gaz de travail usagés (air, azote, argon, …) en retenant les nanoparticules avant rejet à l'extérieur du local par la ventilation. Ces filtres sont également installés en amont des pompes à vide pour ne pas souiller leur huile, ce qui permet de réduire la quantité de déchets souillés par des nanomatériaux et d'optimiser la durée de vie des pompes. Les filtres THE sont placés au plus près des sources génératrices de nanoparticules à l'état dispersé pour limiter le volume et le nombre de canalisations souillées.
Poudres sèches
Comment fonctionne un atelier "poudres sèches" ?
Sur cette plate forme, différents ateliers de mécanosynthèse produisent des objets nanostructurés sous forme de poudres microniques. Si une fraction des poudres manipulées est nanométrique, les opérations requièrent un confinement. Tous les équipements (boîte à gants, sorbonne, broyeurs) sont équipés d'extractions externes munies de filtres HEPA H14 assurant une maîtrise des rejets environnementaux. Outre le risque de dissémination, le risque d'atmosphères explosives lié à l'inflammabilité de certaines poudres est à considérer. La maintenance et la gestion des déchets font aussi l'objet d'une attention particulière.